| 一、硅烷的性質
硅烷也稱矽烷，是化學分子式為SiH4的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶于水。在室溫下硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中無需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。
二、燃燒塔原理
本燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，它分別有一、二級燃燒塔和三級燃燒洗滌塔組成。
根據硅烷(矽烷)在空氣中自燃的特性，特在燃燒塔中設置密閉燃燒室，為保證硅烷在燃燒室內充分燃燒，必須保證燃燒塔內負壓，控制在-100Pa左右。
三、適用范圍
我公司生產的硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業生產中產生的硅烷尾氣凈化。該設備的成功應用，主要是我公司技術人員對國外半導體行業凈化硅烷尾氣技術方面的消化吸收，來滿足國內太陽能、光能行業，半導體行業及CVD化學氣體沉積工藝中產生的硅烷氣體凈化。 |
四、凈化性能
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廢氣性質 |
初始濃度 |
凈化效率 |
排氣筒高度 |
符合排放標準 |
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NH3 |
≤1000mg/m3 |
≥98% |
≥15m |
二級 |
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SiH4 |
≤3000mg/m3 |
≥99% |
≥15m |
二級 |